嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司

科民 · 應(yīng)用案例

原子層沉積(ALD)設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備、全套半導(dǎo)體線(xiàn)的研發(fā)和生產(chǎn)

熱烈祝賀科民電子20套集成電路設(shè)備成功進(jìn)入廈門(mén)大學(xué)產(chǎn)教融合平臺(tái)
熱烈祝賀科民電子20套集成電路設(shè)備成功進(jìn)入廈門(mén)大學(xué)產(chǎn)教融合平臺(tái)
科民電子集成電路產(chǎn)教融合成套設(shè)備含曝光機(jī)、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機(jī)共20臺(tái)
助力北大
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北京大學(xué)成功制備性能優(yōu)越的碳納米管CMOS器件。我們提供了關(guān)鍵的HfO2高k柵介質(zhì)低溫制備方案
熱烈祝賀科民電子20套集成電路設(shè)備成功進(jìn)入廈門(mén)大學(xué)產(chǎn)教融合平臺(tái)
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科民電子集成電路產(chǎn)教融合成套設(shè)備含曝光機(jī)、雙腔ALD、PVD、ICP刻蝕機(jī)共20臺(tái)

科民 · 產(chǎn)品中心

原子層沉積(ALD)設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備、全套半導(dǎo)體線(xiàn)的研發(fā)和生產(chǎn)

 刻蝕機(jī)ICP-100
刻蝕機(jī)ICP-100
刻蝕機(jī)ICP-100
刻蝕機(jī)ICP-100
 刻蝕機(jī)RIE-100
刻蝕機(jī)RIE-100
刻蝕機(jī)RIE-100
刻蝕機(jī)RIE-100
 磁控濺射臺(tái)-PVD-100
磁控濺射臺(tái)-PVD-100
磁控濺射臺(tái)-PVD-100
 雙腔熱型原子層沉積機(jī)TALD-D系列
雙腔熱型原子層沉積機(jī)TALD-D系列
雙腔熱型原子層沉積機(jī)TALD-D系列
 365nmLED光源曝光機(jī)
365nmLED光源曝光機(jī)
365nmLED光源曝光機(jī)
 超大批量生產(chǎn)型原子層沉積系統(tǒng)TALD-1000系列
超大批量生產(chǎn)型原子層沉積系統(tǒng)TALD-1000系列
超大批量生產(chǎn)型原子層沉積系統(tǒng)TALD-1000系列
生產(chǎn)型原子層沉積系統(tǒng)

走進(jìn)科民

海外微電子設(shè)備制造團(tuán)隊(duì)與  中科院微電子所  8室專(zhuān)家共同成立

科民 · 新聞中心

原子層沉積(ALD)設(shè)備等高端半導(dǎo)體設(shè)備、全套半導(dǎo)體線(xiàn)的研發(fā)和生產(chǎn)

2022

10 09

為了培育選樹(shù)具有行業(yè)頂尖技能水平的科技創(chuàng)新先進(jìn)典型,大力弘揚(yáng)勞模精神、勞動(dòng)精神、工匠精神和科學(xué)家精神,進(jìn)一步激發(fā)廣大科技工作者建功立業(yè)的積極性、主動(dòng)性和創(chuàng)造性,10月8日,中國(guó)科學(xué)院工會(huì)舉辦中國(guó)科學(xué)院第三屆“科苑名匠”發(fā)布活動(dòng),全院共12個(gè)團(tuán)隊(duì)和7名個(gè)人被授予中國(guó)科學(xué)院第三屆“科苑名匠”稱(chēng)號(hào)??泼耠娮佣麻L(zhǎng)夏洋榮獲中國(guó)科學(xué)院第三屆“科苑名匠”稱(chēng)號(hào)。 夏洋老師長(zhǎng)期專(zhuān)注于集成電路技術(shù)及裝備研究,為微電子所儀器設(shè)備研發(fā)中心創(chuàng)始人、嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司董事長(zhǎng),帶領(lǐng)研究團(tuán)隊(duì)瞄準(zhǔn)國(guó)家戰(zhàn)略需求,突破了多項(xiàng)關(guān)鍵核心技術(shù)。他在不斷的努力與嘗試中攻堅(jiān)克難,在多項(xiàng)國(guó)家重大科技計(jì)劃項(xiàng)目中承擔(dān)微電子儀器設(shè)備的研發(fā)工作,成功開(kāi)發(fā)出原子層沉積系統(tǒng)、浸沒(méi)式等離子注入機(jī)、電感耦合等離子體刻蝕機(jī)、365納米i線(xiàn)曝光機(jī)等集成電路裝備,同時(shí)研發(fā)出原創(chuàng)變電場(chǎng)原子層沉積、吸附反應(yīng)外延等裝備,實(shí)現(xiàn)了我國(guó)集成電路高端設(shè)備的重大突破。研發(fā)的儀器設(shè)備在國(guó)內(nèi)外科研單位銷(xiāo)售超千臺(tái),有力的支撐了中科院、北京大學(xué)、清華大學(xué)等百余家高校院所的前沿科學(xué)研究,同時(shí)通過(guò)核心技術(shù)支持和促進(jìn)了我國(guó)多家集成電路裝備龍頭企業(yè)的發(fā)展。作為一名老師,他為了能讓學(xué)生更直觀(guān)的了解和掌握微電子儀器操作方法,配套專(zhuān)業(yè)課程專(zhuān)門(mén)研發(fā)了集成電路系列科教融合設(shè)備,采用創(chuàng)新的“講授+實(shí)驗(yàn)”教學(xué)模式,為集成電路工藝技術(shù)培養(yǎng)了大量的工程性專(zhuān)業(yè)人才。

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